セミオートプローバ（8インチ微小電流測定用）
製品特長
Model AP-80A
8インチ セミオートプローバ
fAレベルの微小電流測定が可能な高性能セミオートプローバ
微小電流測定
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01ガード電位技術を活用した構造により、fAレベルの微小電流測定が可能
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02低雑音・高精度測定を実現
簡易操作
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01外部自動制御とジョイスティック(移動モード6種類)の手動操作が可能
半自動操作、手動操作とも容易で、測定効率向上に寄与します。
主要な測定器メーカーのシステムおよびソフトウェアに標準対応
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01キーサイト・テクノロジー
B1500A半導体デバイス・パラメータ・アナライザ
EasyEXPERT -
02ケースレーインスツルメンツ
ACS(測定ソフト)搭載システムおよび測定器
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03その他の測定器制御、ソフトウェアのカスタム対応可能
多彩なオプション・カスタマイズ対応
- ホットチャック（+40℃～＋200℃）を用いた温度依存特性の評価に対応
- プローブカードアダプタの使用により、微小電流用プローブカードを搭載可能
- 使用目的に合わせてカスタマイズ対応可能
仕様：Model AP-80A セミオートプローバ（8インチ微小電流測定用）
| 最大ウェーハサイズ | φ200mm |
|---|---|
| ステージ移動範囲 | X：210mm Y：250mm |
| ステージ可動最小分解能 | 1μm |
| ステージ位置決め精度 | ±10μｍ |
| ステージ繰り返し位置決め精度 | ±2μｍ |
| Ζ軸 ステージストローク | 9mm +0.5ｍｍ（オーバドライブ） |
| Θ軸 ステージ回転角度 | ±5° |
| 制御インターフェース | GP-IB |
| 外形寸法（WxDxH） | 820mm×930mm×1,220mm（オプション含まず） |
| 装置重量 | 500kg（オプション含まず） |
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