マニュアルプローバ（12インチ）
製品特長
Model 705A-WG7
12インチ マニュアルプローバ
12インチまでのウェーハの解析測定用マニュアルプローバ
簡易操作
-
01エアベアリングステージ採用により、片手で簡単操作
短時間でステージの位置合わせが可能で、測定効率が向上します。
広範囲なコンタクトエリア
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01スライドテーブルの採用により、広範囲なプロービングエリアを確保
被測定デバイスをずらす必要がなく、評価作業の効率がアップします。
安全設計
-
01セーフティロック機構で、コンタクト時の操作ミスによるデバイスとプローブの損傷を防止
デバイスの作り直し、測定のやり直し、プローブメンテナンスなどの無駄を低減します。
カスタマイズ可能
- 各種顕微鏡、レーザーカッターシステムの搭載など、使用目的に合わせたカスタマイズが可能
仕様：マニュアルプローバ Model 705A-WG7（12インチ）
| 最大ウェーハサイズ | φ300mm |
|---|---|
| ステージ移動範囲（粗動） | X：500mm Y：400mm |
| ステージ移動範囲（微動） | X：25mm Y：25mm |
| Ζ軸 ステージストローク | 0 / 0.3 / 3.5mm+37.5mm |
| Θ軸 ステージ回転角度 | 粗動 ±45° 微動 ±5° |
| 外形寸法（WxDxH） | 978mm×1,038mm×748mm（オプション含まず） |
| 装置重量 | 130kg（オプション含まず） |
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