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プローブカード

お客さまのニーズにお応えする豊富なラインナップ

高密度化・高速化・効率化と、進化し続ける半導体集積回路のテスティングにおいて、計測信頼性の鍵を握るのがプローブカードです。お客さまのニーズ、テスト環境に合せた各種プローブカードを、常に最高レベルの品質でご提供します。

プローブカード ラインナップ

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パッドピッチ
  • 〜50㎛
  • 55㎛
  • 60㎛
  • 80㎛
  • 100㎛
  • 130㎛
  • 150㎛〜
パッド形状
  • Al-Pad
  • Solder bump
  • Cu-pillar bump
パッド配列
  • ペリフェラル
  • エリアアレイ
  • LOC(Dual含む)
デバイス
  • Logic
  • Optical
  • DRAM
  • Flash
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カンチレバープローブカードは、2023年9月30日をもって日本国内での生産を終了いたしました。

詳しくはこちらをご覧ください。

なお、中国現地法人 MJC Microelectronics(Kunshan)Co., Ltd.においては、今後も中国国内の製造を継続いたします。

プローブカードとは

プローブカードとは、LSI(半導体集積回路)製造のウェーハ検査工程において、シリコンウェーハ上に形成されたLSIチップの電気的検査に用いられる器具です。プローブカードは、ウェーハプローバに取り付けられ、LSIチップの電極と、測定機であるLSIテスタとを接続するコネクタのような役割を持ちます。LSIチップの電極にプローブカードの針を接触させ、電気的検査をおこない、良否判定をします。
ウェーハ検査工程の重要性は高く、プローブカードの信頼性が強く求められています。

【プローブカード】

【ウェーハ検査装置】

アドバンストプローブカードとは

アドバンストプローブカードとはカンチレバープローブカードに比べ、高スループット、狭ピッチ、高位置精度、高周波に優れた先端技術を駆使したプローブカードです。

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