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半導体試験装置(テスタ)

専用テスタ/テストシステム開発

ウェーハ検査工程やパッケージ後の最終工程でデバイスの良否判定をおこなう装置です。
当社では、半導体ICの開発/不良解析から量産まで、ニーズに適したテストソリューションをハード・ソフト両面からご提案します。

テスト環境や予算に応じ、ご要望に合わせて機能を絞り込んだコストパフォーマンスの高い専用テスタ/テストシステム開発を承ります

  • 01基本のテスタ・プラットフォームに、カスタマイズした各種回路基板を組み合わせた、専用テストシステムの開発

  • 02各種デバイスへの品種対応、ニーズに合ったソフトウェア追加など、テスト・ソリューションの構築

  • 03企画・設計開発から量産・立上げ・メンテナンスまでトータルサポート

専用テスタ制作例

提供可能なソリューション

  • ロジックテスト
  • メモリテスト
  • アプリケーションソフト
  • デバイス測定プログラム
  • ピンエレクトロニクス基板

半導体試験装置(テスタ)とは

半導体テスタとは、半導体デバイスに電気信号などを与え、出力される信号を期待値と比較することで、設計仕様通りに動作するかどうかを検査する装置です。ATE(Automated Test Equipment)ともよばれています。

テスタはロジックテスタ、メモリテスタ、アナログテスタに大きく分類されます。通常半導体の検査は、大きく分けると2段階あり、ウェーハ状態でおこなうウェーハ検査(ダイ・ソーティングやプローブ検査などとも呼ばれる)と、パッケージング後におこなわれるパッケージ検査に分かれます。ウェーハ検査ではプローバとプローブカードが、パッケージ検査ではハンドラとテストソケットが、それぞれテスタと共に用いられます。

【ロジックテスタ】

【ウェーハ検査装置】

BIST/DFTテスタとは

BIST/DFTテスタとは、BIST(Built-In Self Test)と呼ばれる自己診断回路を搭載した半導体LSIチップを、効率的に検査することができるテスタです。

BISTとは

BISTは、テスト容易化設計(DFT:Design For Testability)技術の一つです。テスタ機能の一部である「テスト・パターンを発生する回路」と「テスト結果と期待値を照合する回路」をLSIチップの中に組み込むことで、テストそのものをチップ内の回路でおこなうことが可能です。BIST回路には、メモリを検査する「メモリBIST」、論理回路を検査するための「ロジックBIST」があります。

日本マイクロニクスのBIST/DFTテスタ

日本マイクロニクスでは、BIST/DFTに対応したテスタを提供しています。メモリBIST、ロジックBIST等の仕様に合わせた最適なハードウェアで構成することができ、『導通試験』『ACパラメトリックテスト』『DCパラメトリックテスト』『ファンクションテスト』に対応します。お客さまのニーズに合った最適化設計で、多ピン、コンパクト、低コストを実現しています。

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