パーソナルマニュアルプローバ（2インチ/4インチ）
製品特長
Model PMP-2
Model PMP-4
2インチ/4インチ パーソナルマニュアルプローバ
コンパクトで様々な用途に対応するパーソナルマニュアルプローバ
コンパクト
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01小径ウェーハ・チップ測定用の小型・軽量設計
設置場所を選ばない、パーソナルユースプローバです。
レイアウトフリーで多様なアプリケーションに対応
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01ウェーハステージXYZ可動・プローバ内部のレイアウト可変
ステージの移動・固定が自在で、プローブの位置合わせが容易です。内部レイアウトの変更により、プローブ以外の治具追加も可能で、様々なアプリケーションに対応します。
高精度測定
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01チャック・ガード・シールドの3重構造により、ノイズ・リークを低減
fAレベル・μVレベルの高精度測定が可能です。
仕様：パーソナルマニュアルプローバ Model PMP-2（2インチ）
| 最大ウェーハサイズ | φ50mm |
|---|---|
| X・Y軸 ステージ移動範囲 | X：60mm Y：60mm（スライドレール装着時） |
| Ζ軸 ステージストローク | 5mm |
| 外形寸法（WxDxH） | 300×300×260mm（突起部含まず） |
| 装置重量 | 12kg（オプション含まず） |
仕様：パーソナルマニュアルプローバ Model PMP-4（4インチ）
| 最大ウェーハサイズ | φ100mm |
|---|---|
| X・Y軸 ステージ移動範囲 | X：100mm Y：100mm（スライドレール装着時） |
| Ζ軸 ステージストローク | 5mm |
| 外形寸法（WxDxH） | 350×370×260mm（突起部含まず） |
| 装置重量 | 14kg（オプション含まず） |
※PMP-2, PMP-4標準構成：SMU用トライアキシャル - SMAコネクタプレート、マニピュレータｘ３、同軸針ｘ３、同軸ケーブルｘ４、バキュームポンプｘ１を含みます。
※PMP-2およびPMP-4は温度コントローラ・サーモチャックに対応していません。
ウェーハプローバ製品一覧
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セミオートプローバ
（8インチ微小電流測定用） -
マニュアルプローバ
（8インチ微小電流測定用） -
マニュアルプローバ
（6インチ/8インチ） -
マニュアルプローバ
（12インチ） -
パーソナルマニュアルプローバ
（2インチ/4インチ）
