アクセサリ/オプション・メンテナンスパーツ
ウェーハプローバ用アクセサリ・各種オプション・メンテナンスパーツ
様々な測定に対応するアクセサリや、測定環境を整えるための オプション、その他メンテナンスパーツなど各種取り揃え、お客さまの要望に合わせてご提案します。
プローバ用のアクセサリ・コンタクト治具です。
アプリケーションに合わせ、各種取り揃えています。
補用品として追加購入も可能です。
※お客さま情報の送信完了後、ダウンロードが可能となります
同軸プローブ針（微小電流、微小抵抗・容量測定用）
外被導体を測定器のガード または シールドに接続して使用します。
- リークやノイズを低減し、高精度な微小電流測定が可能
- 微小電圧・微小抵抗用、容量測定用にケルビン接続プローブもあり
- ニードルの形状・材質など幅広いラインナップから測定デバイスに応じて最適なプローブを選択可能
- ※マニピュレータに固定して使用します。
- ※測定器との接続用ケーブルも各種ご用意しています。
精密プローブ針
シンプルな構造のシングルプローブ針です。
- ニードル先端の形状・寸法など各種用意
- 測定デバイスに応じて最適なプローブを選択可能
- ※マニピュレータに固定して使用します。
- ※測定器との接続用ケーブルも各種ご用意しています。
マニピュレータ
プローブをウェーハにコンタクトする際に、プローブ位置を精密に制御します。
- 数ミクロンのパターンにコンタクト可能
- 簡易な操作で安価なタイプから、高精密で位置合わせ可能なタイプまで幅広くラインナップ
- シールド・絶縁特性の優れた微小電流用も選択可能
接続用ケーブル類
プローブ針と測定器を接続するケーブルです。
- プローブ針からコネクタパネルに接続する中継タイプや、直接測定器に接続するタイプ、片端は半田付け等の加工が可能なタイプなど各種あり
- 微小電流測定用同軸ケーブル、チャック電極用など選択可能
- ※コネクタパネル接続用ケーブル使用の場合、プローバのコネクタパネルオプションが必要です
プローブカード
ウェーハ上の多数のパッドにコンタクトする測定器具です。
- 同軸プローブタイプ（微小電流測定用）も選択可能
- 高精度な測定・解析の効率化に貢献
- デバイスレイアウトに応じてカスタマイズ対応
- ※オプションのプローブカードアダプタが必要です。
プローバ用オプション品とメンテナンスパーツです。
アプリケーションに合わせ、各種取り揃えています。
補用品として追加購入も可能です。
※お客さま情報の送信完了後、ダウンロードが可能となります
オプション
メンテナンスパーツ
オプション
シールドボックス
プローバ全体を覆い、光や電気的ノイズを遮蔽
- 光励起やノイズ等を抑え高精度な測定を実現
- 防振台との併用も可能
- ハッチバック式、観音扉式などから設置環境に合わせて選択可能
コネクタパネル
測定器とプローブ間を接続するための中継コネクタ付きプレート
- シールドボックスに取り付けてノイズや光の進入を防止
- 測定器やアプリケーションに対応した各種コネクタを用意
- 中継コネクタとプローブ間の接続用アクセサリケーブルも多数
- ※708fT、AP-80Aは本体後部にコネクタパネルボックスを取り付けて使用します。
防振台
マニュアルプローバを搭載し、周辺環境からの振動の影響を抑制
- 振動によるノイズ等を抑え、高精度な微小電圧・微小電流測定を実現
- 卓上防振台やデスク一体型の防振台から選択可能
- シールドボックスとの組み合わせも可能
作業台
マニュアルプローバを設置するテーブル
- アクセサリ等の整理にも使用可能
- キャスタ・ストッパー付きで移動・固定も簡単
Model AT-200B高温用 温度コントローラ Model TC-6C6インチ ホットチャック Model TC-88インチ ホットチャック Model TC-80H8インチ ローノイズ ホットチャック
デバイスの温度特性評価に、当社プローバと組み合わせて使用
- ※当社プローバ専用です
- 液晶タッチパネル画面上で、簡易な操作によるパラメータ設定が可能
- GP-IBインターフェース制御で、温度サイクルテスト、シーケンス測定等の自動化も支援
- 一般的なPID制御と独自制御方式を融合し、迅速かつ高精度な温度制御が可能
- 熱源制御用にローノイズタイプの直流安定化電源を採用することでノイズを低減し、高精度な測定を実現
- 過昇温度プロテクタ・周囲異常温度検出機能等の安全設計で、温度暴走による事故や、測定デバイスおよびプローブやプローバの損傷を防止
- 設定温度範囲
TC-6C・TC-8：+40℃～+300℃
TC-80H ：+40℃～+200℃
CCDカメラ
顕微鏡画像の大画面投影や画像データ保存に使用
- 解像度等各種カメラから選択可能
- 顕微鏡に搭載して使用
顕微鏡スキャナ
顕微鏡本体を高精度にX軸/Y軸方向へスキャン可能
- 顕微鏡の位置を高精度に制御
- 微細デバイスの高倍率画像を効率的な操作で取得
レーザーカッター
レーザー光によるリペアやマーキング等に使用
- 目的に応じて各種レーザー装置の搭載が可能
プローブカードアダプタ
プローバ上に設置し、プローブカードを固定するためのアダプタ
- 簡単な操作でプローブカード交換可能
- プローブカードの位置調整・傾き調整が短時間で可能
- 確実にプローブカードをホールドし、安定したウェーハコンタクトを実現
メンテナンスパーツ
Zドライブレバー
ベースプレートの高さを、3.5mm・0.3mm・針接触0位置に切り替え
- Zドライブレバーのみの交換が可能
手元スイッチ
スイッチを押すとエアが噴き出て、エアベアリングステージが浮上
- 手元スイッチのみの交換が可能
オプション対応表
| プローバモデル | 705C | MP-10C | 705A-WG7 | 708fT | AP-80A |
|---|---|---|---|---|---|
| シールドボックス | ○ | ○ | ○ | ※ | ※ |
| プローブカードアダプタ | ○ | ○ | ○ | ■ | ○ |
| コネクタパネル | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ |
| 顕微鏡スキャナ | ○ | ○ | ○ | ○ | − |
| 作業台 | ○ | ○ | ○ | ○ | − |
| レーザーカッター | ○ | ○ | ○ | − | − |
| 防振台 | ○ | ○ | ○ | ○ | − |
| CCDカメラ | ○ | ○ | ○ | ○ | ※ |
- ○：オプション対応
- ※：プローバ本体に標準で同等機能あり
- ■：カスタム対応