プローブユニット

FPD（フラットパネルディスプレイ）の製造工程では、一般的にパネルの機能検査と、製造プロセス評価の検査がおこなわれます。

アレイ工程検査

アレイ工程におけるパネル機能検査では、ガラス基板上のパネル部分に作られたTFT（薄膜トランジスタ）アレイ回路の機能検査、および配線の断線・ショート検出を目的としたアレイテストがおこなわれます。この検査には、アレイテスタとアレイプローバおよびプローブユニットが用いられます。

アレイ工程における製造プロセス検査では、製造プロセスの正否確認や、その結果を前段階の工程にフィードバックすることを目的としてTFTや容量、配線などアレイ回路の要素だけを集めたTEG（Test Element Group）テストがおこなわれます。この検査にはDCパラメトリックテスタとTEGプローバおよびプローブユニットが用いられます。

セル/モジュール工程検査

セル工程とモジュール工程におけるパネル機能検査では、点灯検査がおこなわれます。
パネルを駆動・点灯し、テストパターンを表示させることで、パネルの動作状態や点欠陥・線欠陥に加え、色度・色ムラ・コントラスト等の検査もおこないます。
検査方法には、オペレータによる目視パネル検査と、CCDカメラを用い自動で欠陥検出や良否判定をおこなう自動パネル検査があります。
この検査には、セルテスタとセルプローバおよびプローブユニットが用いられます。
またモジュール検査では、表示ムラを自動検出し、点灯制御の補正によりムラを消去するムラ検出・補正システムも用いられます。