マニュアルプローバ（8インチ微小電流測定用）
製品特長
Model 708fT
8インチ マニュアルプローバ
fAレベルの微小電流測定が可能なマニュアルプローバ
微小電流測定
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01ガード電位技術を活用した構造により、fAレベルの微小電流測定が可能
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02低雑音・高精度測定を実現
簡易操作
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01エアベアリングステージ採用により、片手で簡単に操作可能
短時間でステージの位置合わせが可能で、測定効率が向上します。
安全設計
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01セーフティロック機構で、コンタクト時の操作ミスによるデバイスとプローブの損傷を防止
デバイスの作り直し、測定のやり直し、プローブメンテナンスなどの無駄を低減します。
多彩なオプション・カスタマイズ対応
- ホットチャック（+40℃～＋200℃）を用いた温度依存特性の評価が可能
- 使用目的に合わせてカスタマイズが可能
仕様：Model 708fT マニュアルプローバ（8インチ微小電流測定用）
| 最大ウェーハサイズ | φ200mm |
|---|---|
| ステージ移動範囲（粗動） | X：220mm Y：270mm |
| ステージ移動範囲（微動） | X：10mm Y：10mm |
| Ζ軸 ステージストローク | 0 / 0.3 / 3.5mm+3mm |
| Θ軸 ステージ回転角度 | ±5° |
| 外形寸法（WxDxH） | 897mm×863mm×400mm（オプション含まず） |
| 装置重量 | 120kg（オプション含まず） |
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