マニュアルプローバ（6インチ/8インチ）
製品特長
Model 705C
Model MP-10C
6インチ/8インチ マニュアルプローバ
様々な評価/解析用途に幅広く対応する汎用マニュアルプローバ
温度特性評価や、高電圧デバイスの評価にも対応
簡易操作
-
01エアベアリングステージ採用により、片手で簡単操作
短時間でステージの位置合わせが可能で、測定効率が向上します。
安全設計
-
01セーフティロック機構で、コンタクト時の操作ミスによるデバイスとプローブの損傷を防止
デバイスの作り直し、測定のやり直し、プローブメンテナンスなどの無駄を低減します。
カスタマイズ可能
- プローブカードアダプタ、耐高電圧対応、ホットチャック（+40℃～+300℃）、各種顕微鏡、レーザーカッターシステムの搭載など、使用目的に合わせカスタマイズ可能
仕様：マニュアルプローバ Model 705C（6インチ）
| 最大ウェーハサイズ | φ150mm |
|---|---|
| ステージ移動範囲（粗動） | X：180mm Y：220mm |
| ステージ移動範囲（微動） | X：10mm Y：10mm |
| Ζ軸 ステージストローク | 0 / 0.3 / 3.5mm+37.5mm |
| Θ軸 ステージ回転角度 | ±90° |
| 外形寸法（WxDxH） | 440×580×290mm（オプション含まず） |
| 装置重量 | 50kg（オプション含まず） |
仕様：マニュアルプローバ Model MP-10C（8インチ）
| 最大ウェーハサイズ | φ200mm |
|---|---|
| ステージ移動範囲（粗動） | X：220mm Y：270mm |
| ステージ移動範囲（微動） | X：10mm Y：10mm |
| Ζ軸 ステージストローク | 0 / 0.3 / 3.5mm+37.5mm |
| Θ軸 ステージ回転角度 | 粗動：±25° 微動：±5° |
| 外形寸法（WxDxH） | 560mm×761mm×346mm（オプション含まず） |
| 装置重量 | 70kg（オプション含まず） |
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