MEMS-SP
製品特長
MEMS-SP
MEMSプローブを使用した垂直型スプリングタイプのプローブカード
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01狭ピッチバンプのテストに適したロジックデバイス向けプローブカード
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02マイクロプロセッサ、SoCデバイス等のフリプチップタイプの テストに最適
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031ピン交換が容易な、優れたメンテナンス性
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04プローブ先端の形状を任意で選択可能
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05最先端マイクロプロセッサ用の高周波ダイレクト・ドッキングテストシステムにも対応
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06フォトリソグラフィ技術で製造した三次元螺旋形状のスプリング・プローブ
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07MEMS技術を用いて製造しているため、ばらつきが少なく、高精度で、信頼性の高い検査が可能
