要素技術

製品を支える要素技術

日本マイクロニクスは、コア技術の「プロービング」をさらに発展させ、最先端のニーズにお応えする製品を作りだすため、電子計測技術をはじめ精密機械、素材、MEMS等の要素技術の研究開発に力を入れています。

電子計測技術

日本マイクロニクスは、電子計測技術の一層の向上を目指し、適切な価格で最高のパフォーマンスを実現する新技術の開発に取り組んでいます。

プローブカードにおいてはデバイスの高密度化、微細化、信号伝送の高速化、高周波、大容量化への対応を、ウェーハプローバにおいてはプローブカードの特性を最大限に引き出すことを目的に、プロービング技術の向上に合わせた要素技術開発をおこなっています。

精密機械技術

電子デバイスの微細化・高密度化にともない、ウェーハプローバには高い剛性を確保したステージ、正確な位置決めの技術、機構部の熱変形への対応が求められています。

数十ミクロン角の電極に数ミクロンの精度で針をコンタクトさせるためには、ステージを高精度かつ高速に位置決めする制御技術、デバイス搬送技術が欠かせません。また、ウェーハ一括コンタクトによる検査では、ウェーハに高い荷重をかけるため、ステージには高い剛性が求められます。さらに車載用デバイスでは測定温度範囲も年々拡がっており、機構部の熱変形を抑えることが非常に重要となります。

日本マイクロニクスは、これら多岐にわたる検査要求に対し、要素技術を組み合わせた精密機械技術の向上と、ランニングコストの低減や検査時間の短縮などの効率的なテスト環境の提案に努めています。

未来につながる素材開発

日本マイクロニクスは、将来を見越した新たなニーズや、製品のより良い特性を実現するために、常に新しい素材を使いこなす技術の研究開発に取り組んでいます。素材の電気特性や機械特性を実験・検証などを通じて評価し、特性を最適化することで製品の品質・性能を高めています。

これらの研究開発は、素材メーカーや大学と共同でおこない、その成果として新たな合金、めっき液、プラスチックなどの新素材を製品に適用しています。このように日本マイクロニクスは、未来のための基礎研究にも力を入れています。

超微細化ニーズに対応する独自MEMS技術

半導体ではLSIの微細化が日々進んでおり、入出力端子のコンタクトにはミクロン(1,000分の1mm)オーダーの精度が要求されます。
日本マイクロニクス は、独自の手法でMEMS*技術を追求し、独創的なプロービング技術を駆使した製品の開発をおこなっています。

*MEMS(micro electro mechanical systems):微小電気機械システム

シミュレーション評価の活用

電子計測機器の性能を左右する重要な要素に、電気的特性と機械的特性があります。日本マイクロニクスでは、これらの特性をデザインするためにコンピュータ・シミュレーション評価を用いています。コンピュータ・シミュレーションを駆使することにより試作回数を最小限に抑え、短期間のうちに製品の完成度を高めています。

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