半導体試験装置(テスタ)とは

ロジックテスタ μTAT 5100

半導体テスタとは、半導体デバイスに電気信号などを与え、出力される信号を期待値と比較することで、設計仕様通りに動作するかどうかを検査する装置です。ATE(Automated Test Equipment)ともよばれています。

テスタはロジックテスタ、メモリテスタ、アナログテスタに大きく分類されます。通常半導体の検査は、ウェーハ状態で検査するウェーハ検査(ダイ・ソートやプローブ検査などとも呼ばれる)と、パッケージ後に行なわれるパッケージ検査(ファイナル検査などとも呼ばれる)の2段階で行なわれます。ウェーハ検査ではプローバとプローブカードが、パッケージ検査ではハンドラーとテストソケットが、それぞれテスタと共に用いられます。

PAGE TOP