プローブユニットとは

プローブユニットは、FPDの検査においてプローバに装着し、パネルに接触(コンタクト)することで、電気信号を伝える検査器具です。テストの目的や、パネルのサイズ、解像度等に応じて使用されるタイプが異なります。

プローブユニットの構造は、 FPDにコンタクトするプローブブロックと、それを支えプローバへの機械的なインターフェースとなるプローブベースから構成されます(下図参照)。プローブブロックは、微細な電気接点(プローブ)の集合体で、FPDのドライバーIC接続パッドへコンタクトさせ、電気信号を伝えることにより、パネルを駆動したり電気的な特性の検査をおこないます。

日本マイクロニクスでは、以下に代表される3タイプのプローブを提供しています。
いずれも、パネルのサイズ、解像度等、デザインに応じてカスタム仕様です。

ブレードタイプ 薄板状のブレードをスリット内に整列させた構造です。ブレードは1ピン単位で交換が可能でメンテナンス性が高く、耐久性にも優れています。
フィルムタイプ フォトリソグラフィー技術を用いたフィルムタイプのプローブです。高精度かつ自由度の高いプローブ配置が可能で、狭ピッチや特殊なパッド配列のパネル(COGパネル等)に使用されます。
ニードルタイプ カンチレバーのプローブをモールド固定した構造です。アレイ検査工程のTEG検査・低温ポリシリコンTFT用のプローブとして使用されます。
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