プローブカードとは

プローブカードとは、LSI(半導体集積回路)製造のウェーハ検査工程において、シリコンウェーハ上に形成されたLSIチップの電気的検査に用いられる治具です。

プローブカードは、ウェーハプローバに取り付けられ、LSIチップの電極と、測定機であるLSIテスタとを接続するコネクタのような役割を持ちます。LSIチップの電極にプローブカードの針を接触させ、電気的検査をおこない、良否判定をします。

ウェーハ検査工程の重要性は高く、プローブカードの信頼性が強く求められています。

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