自動光学検査装置(AOI)とは

FPDのセルパネル検査やモジュール検査では、従来検査員の目視による判定がおこなわれてきましたが、FPDの多様化と生産量の拡大に伴い、点灯検査の定量化・自動化の必要性が高まりました。

日本マイクロニクスではCCDカメラによる自動光学検査装置(AOI:Automated Optical Inspection)を製品化しています。パネル表示の様々な欠陥(点欠陥・線欠陥・輝度ムラなど)を検出し、定量化されたデータをもとに良否判定をします。セルプローバと組み合わせて使用することで、セル検査工程全体を自動化し、パネルの生産効率を大幅に向上させることができます。

自動光学検査装置(AOI)の特長と利点

特長 利点
検査工程の省人化・短TACT化  テストコストを低減 
使用中の目視用プローバとの組み合わせ可能  導入コスト圧縮
自動検査と目視検査の併用可能  新品種対応時のデバッグ時間の短縮
容易な品種交換   可用性・生産性の向上
欠陥位置特定によるリペア  歩留まり向上・コストダウン  
欠陥・ムラのデータ定量化で前工程へのフィードバック可能  歩留まり向上 
主観による判断ミス撲滅・テスト品質の均一化  不良品流出・良品破棄の防止でコストダウン

導入に際しては、お客様のデバイスによる事前評価、ならびに使用方法や判定基準のコンサルティングをおこないます。
セルプローバ製品に関連する技術ライセンスを台湾GPM社(Gallant Precision Machining Co., Ltd.)へ供与しています。

  • 自動光学検査装置とセルプローバ
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