アドバンストプローブカードとは

アドバンストプローブカードとはカンチレバープローブカードに比べ、高スループット、狭ピッチ、高位置精度、高周波に優れた先端技術を駆使したプローブカードです。

U-Probe

U-Probeはメモリデバイスの測定に適したプローブカードです。MEMSプローブ“マイクロカンチレバー”と薄膜多層技術により、ウェーハスケールのプロービングを可能にしました。

NAND FLASH向けにおいては、世界で初めて12インチウェーハの1タッチダウン*1のプローブカードを製品化し、DRAM向けにおいては極限までタッチダウンを減らすDUT*2(検査対象のチップ)配置を実現しました。

U-Probeのプローブエリアはウェーハサイズに等しく、プローブをウェーハ上のどこにでも自由に配置できます。D-RAM向けU-Probeは、三日月型のDUT配置で、テスタのリソースを最大限に活用した空間的に最も効率的な配列を組むことができます。このDUT配置は、1枚のウェーハを検査するのに必要なタッチダウン回数を減らすと共に、ウェーハ全域にわたって均一なスクラブをすることで最良のコンタクトが可能となり、大幅に検査歩留まりを改善します。

  • *1タッチダウン:ウェーハ1枚の検査に必要なコンタクト回数
  • *2DUT:検査対象のチップ
  • NAND FLASH向け U-Probe
  • DRAM向け U-Probe

Vertical-Probe

SoC、マイコン製品等、ロジック製品全般の多数個測定に適したプローブカードです。針を基板に対し垂直に立てることから垂直型プローブカードと呼ばれています。針が短く、デバイスに垂直に接触することから、小パッド、高周波デバイスの測定にも最適です。
日本マイクロニクスのVertical-Probeは高度な技術により、業界トップクラスの狭ピッチを実現しています。

Vertical-Probe

MEMS-SP

MEMS-SPは、マイクロプロセッサ、SoCデバイス等のフィリップチップ・タイプの他、狭ピッチバンプのウェーハテストに適したロジックデバイス向けのプローブカードです。
プローブは垂直型スプリング・ピンタイプで、MEMS技術を用いて製造しているため、ばらつきが少なく、非常に高精度で、信頼性の高い検査が可能です。
またプローブを1ピンから交換することができる構造で、メンテナンス時間の削減を実現しました。

  • MEMS-SP
  • ヘッド部分
  • プローブの交換イメージ図

SP-Probe

垂直型スプリング・ピンタイプのプローブカードです。
NAND Flash 向けは、12インチウェーハへの一括測定に適しており、高針圧(7gf)仕様のため、確実に酸化膜下のパッドへコンタクトさせることで安定した接触性が得られます。また1ピン交換が可能で、メンテナンス性にも優れています。

SP-Probe

WLCSP向けプローブカード

WLCSP(Wafer Level Chip Scale Package)向けプローブカードは、エリアアレイデバイスの検査にも適しています。プローブの先端仕様は、検査環境に合わせクラウンタイプと、フラットタイプから選択が可能です。

  • WLCSP向けプローブカード
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