温度コントローラ
ホットチャック/サーモチャック

デバイスの温度特性評価に、プローバと組み合わせて使用

Model AT-200A
Model TC-8

Model AT-200A 高温用 温度コントローラ
Model TC-6C 6インチ ホットチャック
Model TC-8 8インチ ホットチャック
Model TC-80H 8インチ ローノイズホットチャック

+40℃~+300℃の範囲で設定可能
※ TC-80Hは200℃まで設定可能

Model AT-300A
Model HC-80B

Model AT-300A 高低温用 温度コントローラ
Model HC-80B 8インチ ローノイズサーモチャック

-50℃~+200℃の範囲で設定可能

特長

簡易操作

  • 液晶タッチパネル画面上で、簡易な操作によるパラメータ設定が可能
  • GP-IBインターフェース制御で、温度サイクルテスト、シーケンス測定等の自動化も支援

高速・高精度な温度制御

  • 一般的なPID制御と独自制御方式を融合し、迅速かつ高精度な温度制御が可能

高精度測定

熱源制御用にローノイズタイプの直流安定化電源を採用

  • ノイズを低減し、高精度な測定を実現します。

安全設計

過昇温度プロテクタ・周囲異常温度検出機能等の安全設計

  • 温度暴走による事故や、測定デバイスおよびプローブやプローバの損傷を防止します。

結露防止

高低温仕様のサーモチャック(HC-80B)は、ドライエアによるパージで結露を防止

  • リーク等の測定への影響を低減します。

※高低温仕様サーモチャック は、 Model 708fT / Model AP-80 に搭載可能

仕様

ホットチャック Model TC-6C(6インチ)/TC-8(8インチ)

チャックサイズ TC-6C TC-8
φ150mm φ200mm
設定温度範囲 +40℃~+300℃
温度分布精度 ≦±2.0℃
温度上昇時間 +40℃→+300℃ 40分以内 +40℃→+300℃ 50分以内
温度下降時間 +300℃→+40℃ 60分以内 +300℃→+40℃ 100分以内

ローノイズ ホットチャック Model TC-80H(8インチ)

チャックサイズ φ200mm
設定温度範囲 +40℃~+200℃
温度分布精度 ≦±(Setting temp.0.5%+0.5℃)
温度上昇時間 +40℃→+200℃ 40分以内
温度下降時間 +200℃→+40℃ 90分以内

高温 温度コントローラ Model AT-200A

温度指示精度 ≦±0.5℃
温度安定性 ≦±1.0℃
温度分解能 設定 0.1℃  表示 0.1℃
制御インターフェース GP-IB
外形寸法(WxDxH)※ 430mm×596mm×203mm 
装置重量 ※ 約54kg(DC電源31kg含む / チラーユニット含まず)

※AT-200A 標準的構成の例

ローノイズサーモチャック Model HC-80B 8インチ

チャックサイズ φ200mm
設定温度範囲 -50℃~+200℃
温度分布精度 ≦±(Setting temp.0.5%+0.5℃)
温度上昇時間 +40℃→+200℃ 15分以内
-50℃→+40℃ 10分以内
温度下降時間 +200℃→+40℃ 10分以内
+40℃→-50℃ 30分以内

高低温 温度コントローラ Model AT-300A

温度指示精度 ≦±0.5℃
温度安定性 ≦±0.5℃
温度分解能 設定 0.1℃  表示 0.1℃
制御インターフェース GP-IB
外形寸法(WxDxH)※ 本体:570×800×1,340mm
チラーユニット:498×908×1,550mm
装置重量 ※ 本体:170kg
チラーユニット:約180kg

※AT-300A 標準的構成の例

温度コントローラ対応表

温度コントローラ ホットチャック/サーモチャック プローバモデル
705B MP-10A 705A-WG7 708fT AP-80
AT-200A
(高温用)
TC-6C/TC-8    
TC-80H      
AT-300A
(高低温用)
HC-80B      

※PW-8000、PB-3000は専用チャック/コントローラオプションのみサポート

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