パワーデバイス用 オートプローバ
(8インチ)

Model PW-8000

最大8インチウェーハ対応のフルオートプローバです。
高耐圧・低インダクタンス設計で、最大3,000V、1,200A*(Pulse)までのパワーデバイス評価が可能です。

*Model HC-04大電流対応プローブブロック使用時

特長

パワーデバイス測定

  • 独自のチャック構造とコンタクタにより、低インダクタンス化、低抵抗化を実現
  • パワーデバイスの低 Ron 測定などの大電流特性を、ウェーハ状態で試験可能
  • 従来実装後に行っていた検査を、ウェーハ検査工程でできるためコスト低減、前工程への早期フィードバック、歩留り向上に貢献します。

大電流対応プローブブロック
Model HC-04

大電流・高電圧に対応したプローブブロックです。

  • 独自の多点接触構造で、長寿命、接触安定性に優れ、小さな導体抵抗で、測定誤差を低減
  • 接点部をピン単位で交換可能、優れたメンテナンス性で高性能を維持

カスタマイズ可能

  • 極薄ウェーハ搬送システムや専用温度コントローラ等の豊富なオプション
  • 使用目的に合わせカスタマイズに対応
Model HC-04

仕様

Model PW-8000 8インチ パワーデバイス用 オートプローバ

ウェーハサイズ φ150mm / φ200mm
耐電圧 > 3,000V
許容電流 1,200A (パルス)   
※Model HC-04 大電流対応プローブブロック 使用時
設定温度範囲 室温~250℃ (PW-8000 専用チャック/コントローラ・オプション使用時)
残留抵抗 < 0.1mΩ
残留インダクタンス < 100nH
総合位置決め精度 XYZ 軸 < ±5μm 
制御インターフェース PIO / GP-IB
外形寸法(WxDxH) 1,370mm×1,200mm×1,280mm
重量 1,000kg

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