パーソナルマニュアルプローバ
(2インチ/4インチ)

Model PMP-2

Model PMP-2 2インチ
Model PMP-4 4インチ

コンパクトで、様々な用途に対応するパーソナルマニュアルプローバです。

特長

コンパクト

小径ウェーハ・チップ測定用の小型・軽量設計

  • 設置場所を選ばない、パーソナルユースプローバです。

レイアウトフリーで多様なアプリケーションに対応

ウェーハステージXYZ可動・プローバ内部のレイアウト可変

  • ステージの移動・固定が自在で、プローブの位置合わせが容易です。
  • 内部レイアウトの変更により、プローブ以外の治具追加も可能で、様々なアプリケーションに対応します。

高精度測定

チャック・ガード・シールドの3重構造により、ノイズ・リークを低減

  • fAレベル・μVレベルの高精度測定が可能です。

仕様

パーソナルマニュアルプローバ Model PMP-2 2インチ

最大ウェーハサイズ φ50mm
X・Y軸 ステージ移動範囲* X:60mm Y:60mm
Ζ軸 ステージストローク 5 mm
外形寸法(WxDxH) 300×300×260mm(突起部含まず)
装置重量 12kg (オプション含まず)

*スライドレール装着時

パーソナルマニュアルプローバ Model PMP-4 4インチ

最大ウェーハサイズ φ100mm
X・Y軸 ステージ移動範囲* X:100mm Y:100mm
Ζ軸 ステージストローク 5 mm
外形寸法(WxDxH) 350×370×260mm(突起部含まず)
装置重量 14kg (オプション含まず)

*スライドレール装着時

※ PMP-2標準構成:SMU用トライアキシャル - SMAコネクタプレート、マニピュレータx3、同軸針x3、同軸ケーブルx4、バキュームポンプx1を含みます。

※ PMP-2は温度コントローラ・サーモチャックに対応していません。

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