オプション

シールドボックス

プローバ全体を覆い、光や電気的ノイズを遮蔽します。

特長

  • 光励起やノイズ等を抑え高精度な測定を実現
  • 防振台との併用も可能
  • ハッチバック式、観音扉式などから設置環境に合わせて選択可能

プローブカードアダプタ

プローバ上に設置し、プローブカードを固定するためのアダプタです。

特長

  • 簡単な操作でプローブカード交換可能
  • プローブカードの位置調整・傾き調整が短時間で可能
  • 確実にプローブカードをホールドし、安定したウェーハコンタクトを実現

コネクタパネル

測定器とプローブ間を接続するための中継コネクタ付きプレートです。

特長

  • シールドボックスに取り付けてノイズや光の進入を防止
  • 測定器やアプリケーションに対応した各種コネクタを用意
  • 中継コネクタとプローブ間の接続用アクセサリケーブルも多数

顕微鏡スキャナ

顕微鏡本体を高精度にX軸/Y軸方向へスキャンできます。

特長

  • 顕微鏡の位置を高精度に制御
  • 微細デバイスの高倍率画像を効率的な操作で取得

作業台

マニュアルプローバを設置するテーブルです。

特長

  • アクセサリ等の整理にも使用可能
  • キャスタ・ストッパー付きで移動・固定も簡単

レーザーカッター

レーザー光によるリペアやマーキング等に使用します。

特長

  • 目的に応じて各種レーザー装置の搭載が可能

防振台

マニュアルプローバを搭載し、周辺環境からの振動の影響を防ぎます。

特長

  • 振動によるノイズ等を抑え、高精度な微小電圧・微小電流測定を実現
  • 卓上防振台やデスク一体型の防振台から選択可能
  • シールドボックスとの組み合わせも可能

CCDカメラ

顕微鏡画像の大画面投影や画像データ保存に使用します。

特長

  • 解像度等各種カメラから選択可能

オプション対応表

プローバモデル 705B MP-10A 705A-WG7 708fT AP-80 PW-8000 BP-3000
シールドボックス
プローブカードアダプタ
コネクタパネル  
顕微鏡スキャナ    
作業台    
レーザーカッター        
防振台      
CCDカメラ

○:オプション対応
※:プローバ本体に標準で同等機能あり
■:カスタム対応

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