微小電流測定用 セミオートプローバ
(8インチ)

Model AP-80

fAレベルの微小電流測定が可能な高性能セミオートプローバです。
測定・解析の効率と精度を両立します。

特長

微小電流測定

  • ガード電位技術を活用した構造により、fAレベルの微小電流測定が可能
  • 低雑音・高精度測定を実現

簡易操作

外部自動制御とジョイスティック(移動モード6種類)の手動操作が可能

  • 半自動操作、手動操作とも容易で、測定効率向上に寄与します。

主要な測定器メーカーのシステムおよびソフトウェアに標準対応

キーサイト・テクノロジー

  • B1500A半導体デバイス・アナライザ
  • Desktop EasyEXPERT・Sparkソフトウェア

ケースレーインスツルメンツ

  • ACS(測定ソフト)搭載システムおよび測定器

その他の測定器制御、ソフトウェアのカスタム対応可能

多彩なオプション・カスタマイズ対応

  • サーモチャック(最低 -50℃~+200℃ ドライエアーパージによる結露防止機構あり )またはヒートチャック(+40℃~+300℃)を用いた温度依存特性の評価に対応
  • プローブカードアダプタの使用により、微小電流用プローブカードを搭載可能
  • 使用目的に合わせてカスタマイズ対応可能

仕様

Model AP-80 8インチ 微小電流測定用セミオートプローバ

ウェーハサイズ ~φ200mm
ステージ移動範囲 X:210mm Y:250mm
ステージ可動最小分解能 1μm
ステージ位置決め精度 ±10μm
ステージ繰り返し位置決め精度 ±2μm
Ζ軸 ステージストローク 9mm +0.5mm(オーバドライブ)
Θ軸 ステージ回転角度 ±5°
制御インターフェース GP-IB
外形寸法(WxDxH) 820mm×930mm×1,220mm(オプション含まず)
装置重量 500kg(オプション含まず)

関連製品

PAGE TOP