微小電流測定用 マニュアルプローバ
(8インチ)

Model 708fT

fAレベルの微小電流測定が可能なマニュアルプローバです。

特長

微小電流測定

  • ガードとシールドの三重構造により、fAレベルの微小電流測定が可能
  • シンプルな構造ながら、低雑音・高精度測定を実現

簡易操作

エアーベアリングステージ採用により、片手で簡単に操作可能

  • 短時間でステージの位置合わせが可能で、測定効率が向上します。

安全設計

セーフティロック機構でコンタクト時の操作ミスによるデバイスとプローブの損傷を防止

  • デバイスの作り直し、測定のやり直し、プローブメンテナンスなどの無駄を低減します。

カスタマイズ可能

サーモチャック(最低-50℃~+200℃ ドライエアーパージによる結露防止機構あり)またはヒートチャック(+40℃~+300℃)を用いた温度依存特性可能評価、その他使用目的に合わせたカスタマイズが可能

仕様

Model 708fT
8インチ 微小電流測定 マニュアルプローバ

ウェーハサイズ ~φ200mm
ステージ移動範囲
(粗動)
X:220mm Y:270mm
ステージ移動範囲
(微動)
X:10mm Y:10mm
Ζ軸 ステージストローク 0/0.3/3.5mm+3mm
Θ軸 ステージ回転角度 ±5°
外形寸法(WxDxH) 897mm×863mm×400mm
(オプション含まず)
装置重量 120kg(オプション含まず)

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