一括コンタクト用 フルオートプローバ
(12インチ)

Model BP-3000

12インチウェーハ、全面一括コンタクト用のオートプローバです。

特長

ウェーハ全面一括コンタクト

プローブカードの平衡自動調整機能、基準マークアライメント、高剛性ステージの採用により、12インチウェーハ全面を一括コンタクト可能

  • プローブ・インデックス不要で大幅にタクトを短縮します。
  • チャックの可動範囲を最小にし、クリーンルームのフットプリントも削減します。

トータルソリューション

プローブカード、テスタも含めたトータルソリューションの提案が可能

  • テスト経路の最適化により、高精度で高速なテストを実現します。
  • アフターサービスの一元化により、運用・管理の効率が向上します。

カスタマイズ可能

アプリケーションや使用環境に合わせて、最適なテストシステムをご提案

仕様

Model BP-3000 12インチ 一括コンタクト用 フルオートプローバ

ウェーハサイズ φ300mm
ステージ移動範囲 X:±30mm Y:±30mm
ステージ可動最小分解能 0.1μm
ステージ位置決め精度 5μm以内
ステージ繰り返し位置決め精度 ±1μm
Ζ軸 ステージストローク 100mm
Θ軸 ステージ回転角度 ±5°
最大耐荷重 2940N(300kgf)
制御インターフェース GP-IB
外形寸法(WxDxH) 910mm×1,250mm×970mm
装置重量 1,500kg

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