評価/解析用 マニュアルプローバ
(6インチ/8インチ)

Model 705B

Model 705B 6インチ
Model MP-10A 8インチ

様々な評価/解析用途に幅広く対応する汎用マニュアルプローバシリーズです。
温度特性評価や、高電圧デバイスの評価にもご使用になれます。

特長

簡易操作

エアーベアリングステージ採用により、片手で簡単操作

  • 短時間でステージの位置合わせが可能で、測定効率が向上します。

安全設計

セーフティロック機構により、コンタクト時の操作ミスによるデバイスやプローブの損傷を防止

  • デバイスの作り直し、測定のやり直し、プローブメンテナンスなどの無駄を低減します。

カスタマイズ可能

プローブカードアダプタ、耐高電圧対応、ホットチャック(+40℃~+300℃)、各種顕微鏡、レーザーカッタの搭載など、使用目的に合わせカスタマイズ可能

仕様

Model 705B 6インチ マニュアルプローバ

ウェーハサイズ ~φ150mm
ステージ移動範囲(粗動) X:180mm Y:220mm
ステージ移動範囲(微動) X:10mm Y:10mm
Ζ軸 ステージストローク 0/0.3/3.5mm+37.5mm
Θ軸 ステージ回転角度 ±90°
外形寸法(WxDxH) 440×580×290mm(オプション含まず)
装置重量 50kg(オプション含まず)

Model MP-10A 8インチ マニュアルプローバ

ウェーハサイズ ~φ200mm
ステージ移動範囲(粗動) X:220mm Y:270mm
ステージ移動範囲(微動) X:10mm Y:10mm
Ζ軸 ステージストローク 0/0.3/3.5mm+37.5mm
Θ軸 ステージ回転角度 粗動:±25°
微動:±5°
外形寸法(WxDxH) 560mm×761mm×346mm(オプション含まず)
装置重量 70kg(オプション含まず)

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