評価/解析用 マニュアルプローバ
(12インチ/大型基板)

Model 705A-WG7

12インチまでのウェーハやFPD基板等の解析に幅広く対応する汎用マニュアルプローバです。

特長

簡易操作

エアーベアリングステージ採用により、片手で簡単操作

  • 短時間でステージの位置合わせが可能で、測定効率が向上します。

広範囲なコンタクトエリア

スライドテーブルの採用により、広範囲なプロービングエリアを確保

  • 被測定デバイスをずらす必要がなく、評価作業の効率がアップします。

安全設計

セーフティロック機構により、コンタクト時の操作ミスによるデバイスとプローブの損傷を防止

  • デバイスの作り直し、測定のやり直し、プローブメンテナンスなどの無駄を低減します。

カスタマイズ可能

各種顕微鏡、レーザーカッタの搭載など、使用目的に合わせたカスタマイズが可能

仕様

Model 705A-WG7
12インチ/大型基板 マニュアルプローバ

対応デバイスサイズ ウェーハ ~φ300mm
大型基板 ~500mm×400mm
ステージ移動範囲(粗動) X:500mm Y:400mm
ステージ移動範囲(微動) X:25mm Y:25mm
Ζ軸 ステージストローク 0/0.3/3.5mm+37.5mm
Θ軸 ステージ回転角度 粗動 ±45°
微動 ±5°
外形寸法(WxDxH) 978mm×1,038mm×748mm(オプション含まず)
装置重量 130kg(オプション含まず)

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