アクセサリ

プローバ用のアクセサリ・コンタクト治具です。
アプリケーションにあわせ、各種取り揃えています。
補用品として追加購入も可能です。

プローブカード

ウェーハ上の多数のパッドにコンタクトする測定治具です。

  • 同軸プローブタイプ(微小電流測定用)も選択可能
  • 高精度な測定・解析の効率化に貢献
  • デバイスレイアウトに応じてカスタマイズ対応

※オプションのプローブカードアダプタが必要です。

精密プローブ針

シンプルな構造のシングルプローブ針です。

  • ニードル先端の形状・寸法など各種用意
  • 測定デバイスに応じて最適なプローブを選択可能

※マニピュレータに固定して使用します。
※測定器との接続用ケーブルも各種ご用意しています。

同軸プローブ針
(微小電流、微小抵抗・容量測定用)

外被導体を測定器のガード または シールドに接続して使用します。

  • リークやノイズを低減し、高精度な微小電流測定が可能
  • 微小電圧・微小抵抗用、容量測定用にケルビン接続プローブもあり
  • ニードルの形状・材質など幅広いラインナップから測定デバイスに応じて最適なプローブを選択可能

※マニピュレータに固定して使用します。
※測定器との接続用ケーブルも各種ご用意しています。

マニピュレータ

プローブをウェーハにコンタクトする際に、プローブ位置を精密に制御します。

  • 数ミクロンのパターンにコンタクト可能
  • 簡易な操作で安価なタイプから、高精密で位置合わせ可能なタイプまで幅広くラインナップ
  • シールド・絶縁特性の優れた微小電流用も選択可能

接続用ケーブル類

プローブ針と測定器を接続するケーブルです。

  • プローブ針からコネクタパネルに接続する中継タイプや、直接測定器に接続するタイプ、片端は半田付け等の加工が可能なタイプなど各種あり
  • 微小電流測定用同軸ケーブル、チャック電極用など選択可能

※コネクタパネル接続用ケーブル使用の場合、プローバのコネクタパネルオプションが必要です

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