プローブカード

お客様のニーズにお応えする豊富なラインナップ

高密度化・高速化・効率化と、進化し続ける半導体集積回路のテスティングにおいて、計測信頼性の鍵を握るのがプローブカードです。お客様のニーズ、テスト環境に合せた各種プローブカードを、常に最高レベルの品質でご提供します。

アドバンストプローブカード

U-Probe

独自のMEMS技術を応用したMEMSプローブ「マイクロカンチレバー」と、「薄膜多層配線基板」の製造技術を用いたプローブカードです。

特長

  • メモリーデバイス多数個同時測定用
  • 12インチウェーハの一括測定にも対応

Vertical-Probe

垂直型ニードルタイプのプローブカードです。

特長

  • ペリフェラルパッド配列を含めた多数個取りに対応
  • 高集積化・高速化するロジック、SoCデバイスの測定に最適

SP-Probe

垂直型スプリングタイプのプローブカードです。

特長

  • 12インチウェーハの一括測定(NAND Flash)やWLCSPの測定に最適

MEMS-SP

MEMSプローブを使用した垂直型スプリングタイプのプローブカードです。

特長

  • マイクロプロセッサ、SoCデバイス等のフリップチップタイプのウェーハテストに最適

カンチレバープローブカード

多数個同時測定/ペリフェラル配列測定用

4辺にパッドが配置されたペリフェラル配列のICや、多数個同時測定に適したプローブカードです。

特長

  • 高低温の環境下で使用可能
  • 短納期に対応

LCDドライバ(ファインピッチ)測定用

LCDドライバIC測定に適したプローブカードです。

特長

  • 金バンプ、狭ピッチデバイスに最適
  • 針素材は貴金属系を使用
  • 4辺にパッドが配列されたICの1×2、2×2配列も測定可能

CMOSイメージセンサ測定用
“Lumeasy”

CMOSイメージセンサIC向けのプローブカードです。

特長

  • 大型チップの多数個同時測定にも対応
  • コンタクト時のパッド屑発生を抑える針仕様
  • 高いメンテナンス性

微小電流測定用

10fAオーダーの分解能を有する微小電流測定用プローブカードです。

特長

  • キーサイト・テクノロジー社製テスタ、4070・4080シリーズに対応

高周波測定用

同軸プローブを使用したマイクロ波帯測定用のプローブカードです。

特長

  • GHzレベルの周波数測定が可能

小パッド向け針仕様(BC Probe*)

応力設計により針先端のスライド量を抑制し、デバイスのパッドダメージを軽減する針仕様です。

特長

  • 薄膜、Low-k、PoP、POAA、CUPなどのパッドへ対応
  • 針仕様は、パッド構造やテスト条件ごとにデザイン

*BC Probe:Bow Contact Probe

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